閉循環低溫探針臺芯片測試支持定制

蕞低溫度

控溫范圍

配置

8K

8.5K-350K

2個探針臂

9K

9.5K-350K

4個探針臂

10K

10.5K-350K

6個探針臂

20K

20K-675K

高溫樣品臺

溫度范圍

穩定性

蕞低溫不控溫

<10K

±50mK

11K-100K

±10mK

101K-250K

±10mK

351K-675K

±50mK

室溫

<5X10^-3Pa

蕞低溫

<5X10^-4Pa

最高溫

<5X10^-3Pa

注：以上數據使用600L渦輪分子泵組得到

X方向

<5μm

Y方向

<5μm

Z方向

<1μm

注：可選低振動配置，各方向振動<1μm

樣品臺傳感器加熱器

硅二極管傳感器、100W加熱器

防輻射屏傳感器加熱器

硅二極管傳感器、100W加熱器

二級制冷平臺傳感器加熱器

硅二極管傳感器、100W加熱器

探針臂傳感器

硅二極管傳感器(安裝在其中一個針臂)

溫度控制

控溫儀型號

斯坦福CTC100四通道溫度控制器

低溫輸液管

不需要

低溫液體儲存罐

不需要

支架

支架尺寸

長寬高660X660X640mm(不含地腳)

地腳

4個橡膠減振地腳，承重500公斤

桌面

長寬厚710X710X20mm

真空腔體

材料

鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)

外部直徑高度

245X170mm

內部直徑高度

215X165mm

可視窗凈尺寸

φ65毫米，紅外吸收石英窗口

真空抽口

KF16

真空閥門

KF16手動擋板閥

放氣閥

手動放氣閥

預留接口

預留通用安裝接口

探針引出口

六個真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同)

防輻射屏

材料

銅鍍金

外徑

182mm

可視窗凈尺寸

45mm,配紅外吸收窗口

抽空泵組

分子泵組

可選(客戶可自備)

機械泵組

可選(客戶可自備)

抽空減振塊

抽空減振塊

KF25進出氣口，重量20公斤

配電要求

單相電壓

220V/50Hz

單相功率

1KW

三相電壓

三相五線制，380V/50Hz

三相功率

6KW

水冷要求

制冷功率

5KW@25℃

水流量

7L-10L/min(28℃)

三相電壓

三相五線制，380V/50Hz

三相功率

3KW

設備包括

接地樣品托

無

φ51mm(2in)

選件

接地樣品托

φ51mm(2in)

同軸樣品托

BNC

φ51mm(2in)

三同軸樣品托

TRIAX

φ51mm(2in)

注：其它尺寸樣品托接受定制

接地樣品托

導通

0.1K-0.2K

400K

同軸樣品托

>100MΩ

≈1K

400K

三同軸樣品托

>100GΩ

≈1K-2K

400K

1.電絕緣測試是在10V電壓情況下，測量導電面之間的電阻

2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會對溫差產生影響，熱接觸不充分樣品負載大，會增加溫差。

TRIAX

三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線

高阻DC

高阻抗低漏電流測量

RF-1GHz

KHz和MHz級別的測量，測量帶寬高達1GHz。可以升級到RF/微波-40GHz測量，需要購買一個GSG探針

RF/微波-40GHz

可實現高達40GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量

RF/微波-67GHz

可實現高達67GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量

光纖探針

給樣品通光或者從樣品采集光，可選波長，可選FC/APC或者SMA905接口

通用DC

3耳BNC

SMA低溫探針

微型低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

高阻DC

3耳triaxial

SMA低溫探針

微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD

±5°

探針針尖和直徑

RF-1GHz

2.92mm(K型連接器)

SMA低溫探針

2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

RF/微波-40GHz

2.92mm(K型連接器)

40G-GSG探針

2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

RF/微波-67GHz

1.85mm(Z型連接器)

67G-GSG探針

1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

光纖探針

FC/APC或SMA905

無

光纖

±5°

類型、波長、入射角

通用DC

DC-50Hz

>100MΩ

<100pF

50Ω

無

無

高阻DC

DC-50Hz

>100GΩ

<100pF

無

無

無

RF-1GHz

DC-1GHz

>10MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-40GHz

DC-40GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-67GHz

DC-67GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

光纖探針

無

無

無

無

無

注：絕緣電阻在100V電壓下測量得到

行程

75mm(2in)

25mm(1in)

25mm(1in)

精度

3μm

5μm

5μm

SMA-05D-01-W

鎢

1

SMA-05D-05-W

5

SMA-05D-10-W

10

SMA-05D-20-W

20

SMA-05D-100-W

100

SMA-05D-01-BC

鈹銅

1

SMA-05D-05-BC

5

SMA-05D-10-BC

10

SMA-05D-20-BC

20

SMA-05D-100-BC

100

SMA-05D-01-P7

Paliney7合金

1

SMA-05D-05-P7

5

SMA-05D-10-P7

10

SMA-05D-20-P7

20

SMA-05D-100-P7

100

鎢(W)

常用，耐用

適用各種樣品表面，能穿透氧化層

好

小

長

鈹銅(BC)

常用，接觸電阻小

沉金焊盤pad

優

最小

長

paliney7合金(P7)

專用，接觸電阻小

精密的焊盤pad

好

小

長